机床校准
SJ6000激光干涉仪
SJ6000激光干涉仪

SJ6000激光干涉仪

 

用途主要用于三坐标机床的校准工作

激光干涉仪是以光波为载体,以光波波长为单位的一种计量测试方法,是公认的高精度、高灵敏度的检测手段,在高端制造领域应用广泛。

SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术,实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出,采用不同的光学镜组与激光配合,得到不同的干涉信号,然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据,将数据通过计算机进行显示和动态分析。

SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合,可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测,如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量,可以进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等,具有极高的精度和效率,而且及时处理数据,为机床误差修正提供依据。

 

系统具有模块化结构,您可以从中图仪器的一系列产品中选择组件,以满足您的具体测量需求。

 

1. 功能特点

1.1. 产品功能特点

1. 测量精度高:以激光干涉技术为核心,分辨率可达纳米级;采用高精度环境补偿模块,解决温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响;使用激光热稳频控制系统,保证激光长期稳频精度;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热变形,保证干涉光路稳定。

2. 具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并且可满足回转轴分度精度的测量。

3. 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,满足机床误差修正的要求。

4. 具有动态测量(位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线)及测量振幅和频率分析的功能,可进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等。

5. 内置各种类国标(GB)、ISO(国际)、BS(英制)、美标、DIN(德标)、JIS(日标)等机床检验标准。可依据各种机床标准分析处理数据,并根据测量结果可打印相应的曲线图和数据报告。

6. 可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。

7. 测量记录采用集中式数据库管理,可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录;可将检定数据输出到WordExcelAutoCAD(选配)文档

8. 安装方便:基本重量为15kg,简单便携。

 

1.2. 分析标准配置

激光干涉仪测量分析软件支持以下检验标准:

ISO230-2

老版国际标准

ISO230-1997

新版国际标准

ANSI B5.54

美国国家标准

ASME B89.1.12M

美国机械工程师协会标准

NMTBA

美国机床协会标准

BS 3800  

英国机床标准

BS 4656

英国三测机标准

JIS B6330  

日本国家标准

GB 17421-2000

中国国家标准

VDI 3441

德国机床标准

2. 技术指标

2.1. 技术指标

 系统性能